发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04255227(A) 申请公布日期 1992.09.10
申请号 JP19910036682 申请日期 1991.02.06
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 TEZUKA HIROAKI;KOJIMA HITOSHI;USAMI HIROYUKI
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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