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经营范围
发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERSTRUKTUR.
摘要
申请公布号
DE3686315(D1)
申请公布日期
1992.09.10
申请号
DE19863686315
申请日期
1986.12.09
申请人
HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
FUKUZAWA, TADASHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP;CHINONE, NAOKI, SOMECHI CHOFU-SHI TOKYO, JP;TONOMURA, AKIRA, KOGANEI-SHI TOKYO, JP
分类号
H01S5/00;H01L21/027;H01L21/266;H01L29/12;H01L29/772;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/263
主分类号
H01S5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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