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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04255268(A) 申请公布日期 1992.09.10
申请号 JP19910016668 申请日期 1991.02.07
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TAKASU HIROAKI
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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