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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04254355(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19910014661 申请日期 1991.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 ARAKI HIDEO;UENISHIKUBO NARIYUKI;NAKAOKA HISASHI;NISHIMURA AKITO
分类号 H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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