| 发明名称 |
RADIATION INDUCED PATTERN DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0331022(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.09 |
| 申请号 |
EP19890103216 |
申请日期 |
1989.02.23 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
COOK, ELIOT V. |
| 分类号 |
G03F1/08;C23C16/04;C23F1/00;G03F7/20;H01C17/06;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/82;H01L31/04;H05K3/10;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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