发明名称 |
PROCESS FOR MAKING SPACED ELEMENTS |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0273792(B1) |
申请公布日期 |
1992.09.09 |
申请号 |
EP19870402668 |
申请日期 |
1987.11.25 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL |
发明人 |
SIBUET, HENRI |
分类号 |
H01L21/3205;G11B5/31;H01F41/34;H01L21/033;H01L21/28;H05K3/14 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|