发明名称 PROCESS FOR MAKING SPACED ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP0273792(B1) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 EP19870402668 申请日期 1987.11.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 SIBUET, HENRI
分类号 H01L21/3205;G11B5/31;H01F41/34;H01L21/033;H01L21/28;H05K3/14 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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