| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCTION OF METAL OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04254416(A) |
申请公布日期 |
1992.09.09 |
| 申请号 |
JP19910133019 |
申请日期 |
1991.06.04 |
| 申请人 |
GENERAL MOTORS CORP <GM> |
发明人 |
ADORUFU RUIIZU MICHIERI;JIYOSEFU BUITO MANTEIIZU;NOOMAN UIRIAMU SHIYUBURINGU;ANTONIO BADEI KIYATARAN |
| 分类号 |
B01J19/00;C01G35/00;C07C53/10;C07C53/126;C07F9/00;C23C18/12;H01L37/02 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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