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发明名称 EVALUATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0310082(B1) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 EP19880116112 申请日期 1988.09.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 BABA, YOSHIRO C/O PATENT DIVISION;KOSHINO, YUTAKA C/O PATENT DIVISION;YASUDA, SEJI C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R19/00;G01R31/265;G01R31/311 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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