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经营范围
发明名称
PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0484131(A3)
申请公布日期
1992.09.09
申请号
EP19910310024
申请日期
1991.10.30
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
SAKAKIBARA, YASUYUKI;MAKINOUCHI, SUSUMU;MAGOME, NOBUTAKA;SHIRAISHI, NAOMASA
分类号
G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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