发明名称 ETCHING PROCESS FOR SLOPED SIDE WALLS
摘要
申请公布号 EP0469370(A3) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 EP19910111771 申请日期 1991.07.15
申请人 GOLD STAR CO. LTD 发明人 KIM, JEONG JAE
分类号 H01L21/302;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/027 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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