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Es werden säurekatalytisch vernetzbare Copolymere mit einem Molekulargewicht (Mw) von 10³ bis 10<6>, gemessen mittels Gelpermeationschromatographie, beschrieben, die aus a) 100-80 Mol.% wiederkehrender Strukturelemente der Formeln I und II <IMAGE> im Verhältnis von 1:1 bis 1:9 und b) 0-20 Mol. % wiederkehrender Strukturelemente der Formel III <IMAGE> bestehen, worin X und X' unabhängig voneinander <IMAGE> bedeuten, R Wasserstoff oder eine unter Säureeinwirkung abspaltbare Schutzgruppe ist, die R1 unabhängig voneinander C1-C5-Alkyl, Phenyl oder Naphthyl bedeuten oder zusammen 1,2-Phenylen oder -[C(R3)(R4)]x- mit R3 und/oder R4 = Wasserstoff oder Methyl und x = 2 bis 5 darstellen, die R2 unabhängig voneinander Wasserstoff, C1-C5-Alkyl oder C1-C5-Alkoxy darstellen, R5 und R7 je Wasserstoff sind, R6 Wasserstoff, Halogen oder Methyl und R8 Wasserstoff, Halogen, Methyl, -CH2Halogen, -CH2CN, -CN, -COOH, -CONH2, -O-C1-C5-Alkyl, -O-CO-C1-C5-Alkyl, -COO-C1-C5-Alkyl, -COO-Phenyl oder Phenyl bedeuten, oder R5 und R6 je Wasserstoff sind und R7 und R8 zusammen -CO-O-CO- oder unabhängig voneinander -COOH oder -COO-C1-C5-Alkyl, darstellen. Die genannten Copolymeren eignen sich zusammen mit Verbindungen, die unter aktinischer Strahlung Säure bilden, zur Herstellung von Negativresist-Systemen.
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