发明名称 SHUTTER FOR SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04254578(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19910015158 申请日期 1991.02.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMANISHI HITOSHI;TANAKA KUNIO;ONISHI YOICHI;SUEMITSU TOSHIYUKI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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