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发明名称 PURIFICATION OF GASEOUS NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号 JPH04254404(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19910014239 申请日期 1991.02.05
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 FUJIEDA NOBUHIKO;YAMAGUCHI TOSHIAKI;ARITSUKA MAKOTO
分类号 C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
主权项
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