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发明名称 OPTICAL INSPECTION APPARATUS AND ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY USEFUL THEREIN
摘要
申请公布号 EP0456217(A3) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 EP19910107492 申请日期 1991.05.08
申请人 ORBOT SYSTEMS, LIMITED 发明人 ARNON,ODED,;KATZIR,YIGAL;TEICHMAN, EYAL
分类号 G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B6/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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