发明名称 FILM QUALITY CONTROLLER IN ION PLATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04254583(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19900418541 申请日期 1990.12.28
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 ARAKI TATSURO
分类号 C23C14/32;C23C14/54;C23C14/56;H01J37/00;H01J37/30;H05B7/148 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址