发明名称 | 铟镓砷光电探测器 | ||
摘要 | 锢镓砷光电探测器,属于微电子学光电子技术领域。本发明是由衬底、缓冲层、吸收层、P型掺杂In<SUB>0.53</SUB>Ga<SUB>0.47</SUB>As增强层、金属电极组成。具有结构新颖、工艺简单、稳定可靠、势垒增强效果好,长波长(1.3~1.55微米)响应,高速,低暗电流,特别是便于与场效应管(FET)同片集成的优点,是一种广泛应用于光纤通讯领域中的较为理想的光电探测器。 | ||
申请公布号 | CN1064371A | 申请公布日期 | 1992.09.09 |
申请号 | CN92108309.2 | 申请日期 | 1992.01.21 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 史常忻;王庆康;李志奇 |
分类号 | H01L31/0304;H01L31/108;H01L27/14 | 主分类号 | H01L31/0304 |
代理机构 | 上海交通大学专利事务所 | 代理人 | 匡宗德 |
主权项 | 1、一种铟镓砷光电探测器,它由衬底1、缓冲层2、吸收层3、增强层4、金属电极5组成,本发明的特征在于所说的增强层4在吸收层3上生长P型掺杂In0.53Ga0.47As层。 | ||
地址 | 200030上海市华山路1954号 |