发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04254329(A) 申请公布日期 1992.09.09
申请号 JP19910015522 申请日期 1991.02.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUTANI TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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