Multigas excimer laser.

摘要

Multigas-Excimerlaser mit einem Entladungsvolumen im Innern des Vorratsgefäßes (9), der für mittlere bis hohe Leistungen einen hohen Wirkungsgrad aufweist, der Verunreinigungen vermeidet und eine hohe Lebensdauer gewährleistet, bei dem an der Gegenelektrode (5) ein Strömungsleitblech (4), ein zweites Blech (11) und/oder eine Leiste (2) zur Lenkung der Gasströmung über die Elektroden (5, 6) durch Kühler (10), Lüfter (1) und gegebenenfalls einen Laminator (3) vorgesehen ist, so daß die Gasumwälzung nahezu im Kreis geführt wird. Das Strömungsleitblech (4) ist niederinduktiver Anschluß zu den Kondensatoren (8). Ein Vorionisationsblech (14) ermöglicht mit Vorionisationsstiften (16) in der Nähe der Elektrode (6) eine effektive UV-Vorionisation und eine Abschattung des Hochspannungsisolators (15) vor direktem UV-Licht, bei minimalen Abstand zwischen der Elektrode (6) und dem Strömungsleitblech (4). Durch elektroakustische Filter (12) wird ein spezieller Schutz der Laserfenster vor Verunreinigungen erreicht. <IMAGE>