| 发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04251916(A) |
申请公布日期 |
1992.09.08 |
| 申请号 |
JP19910000990 |
申请日期 |
1991.01.09 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ESHITA TAKASHI;INOUE RIICHI;TAKAGI NORIMITSU;MORISHITA KENJI;MIYAGAKI SHINJI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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