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经营范围
发明名称
WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH04252046(A)
申请公布日期
1992.09.08
申请号
JP19910001663
申请日期
1991.01.10
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NISHIGAKI HISASHI
分类号
B65H1/28;B65G1/07;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B65H1/28
代理机构
代理人
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