发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04251933(A) 申请公布日期 1992.09.08
申请号 JP19910001305 申请日期 1991.01.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANBARA KAZUHIRO
分类号 H01L21/316;H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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