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发明名称 PLASMA TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04252028(A) 申请公布日期 1992.09.08
申请号 JP19910025103 申请日期 1991.01.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 URA MASAAKI;ISHII TATSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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