| 发明名称 |
NOVEL RESIST MATERIAL AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04251259(A) |
申请公布日期 |
1992.09.07 |
| 申请号 |
JP19910234177 |
申请日期 |
1991.08.21 |
| 申请人 |
WAKO PURE CHEM IND LTD |
发明人 |
NAKAHATA MASAAKI;FUJIE HIROTOSHI;ONO KEIJI;URANO FUMIYOSHI |
| 分类号 |
G03F7/031;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/031 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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