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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04249318(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19910013630 申请日期 1991.02.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOMURO GENICHI;MATSUNAGA DAISUKE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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