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发明名称 GRID FOR ION GUN AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04249319(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19910035696 申请日期 1991.02.04
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAGO AKIO;YANAGISAWA KEIICHI;KOSHIMOTO YASUHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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