发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04249779(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19900418453 申请日期 1990.12.28
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 MAKI MAMORU
分类号 G01R19/12;G01R31/26 主分类号 G01R19/12
代理机构 代理人
主权项
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