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发明名称 METHOD FOR COATING SQUARE SUBSTRATE WITH PHOTORESIST
摘要
申请公布号 JPH04248555(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19910014149 申请日期 1991.02.05
申请人 NEC IBARAKI LTD 发明人 KIYOMIYA KENJI
分类号 B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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