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发明名称 SEMICONDUCTOR TRIAXIAL FORCE SENSOR WITH COUNTERWEIGHT MOUNTING SHAFT
摘要
申请公布号 JPH04249728(A) 申请公布日期 1992.09.04
申请号 JP19900414581 申请日期 1990.12.26
申请人 ENPLAS CORP 发明人 KAJIWARA YASUSHI
分类号 G01L1/26;G01L5/16 主分类号 G01L1/26
代理机构 代理人
主权项
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