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发明名称 THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH04246854(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910012213 申请日期 1991.02.01
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 TAKEMURA KAZUO;YOSHIDA HARUNOBU;KAWAHARA HIDEO;MIZUSHIMA EIJI;KIKUZAWA MASANAGA
分类号 H01L21/316;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/94 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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