发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04246805(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910012059 申请日期 1991.02.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEHARA YUJI
分类号 G11B5/31;H01F10/26 主分类号 G11B5/31
代理机构 代理人
主权项
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