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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04245462(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910009900 申请日期 1991.01.30
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MIWA TAKASHI;MATSUNAGA TOSHIHIRO;SHIRAI MASAYUKI;TSUBOI TOSHIHIRO;OZAKI HIROSHI
分类号 H01L21/60;H01L23/29 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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