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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04245429(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910009859 申请日期 1991.01.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KINOSHITA OSAMU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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