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发明名称
ARRANGING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH04246778(A)
申请公布日期
1992.09.02
申请号
JP19910011728
申请日期
1991.02.01
申请人
NEC CORP
发明人
TAKEDA KOJI
分类号
H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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