| 发明名称 |
APPARATUS FOR AND METHOD OF TRANSVERSE POSITION MEASUREMENT IN PROXIMITY LITHOGRAPHIC SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0493655(A3) |
申请公布日期 |
1992.09.02 |
| 申请号 |
EP19910117017 |
申请日期 |
1991.10.07 |
| 申请人 |
HOLTRONICS TECHNOLOGIES LTD. |
发明人 |
CLUBE, FRANCIS S.M. |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F9/00;G03H1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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