| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR STRAIN-FREE PRECISION NUMERICALLY CONTROLLED WORKING PROCESS BY RADICAL REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04246184(A) |
申请公布日期 |
1992.09.02 |
| 申请号 |
JP19910027894 |
申请日期 |
1991.01.28 |
| 申请人 |
YUUHA MIKAKUTOU SEIMITSU KOUGAKU KENKIYUUSHIYO:KK;MORI YUZO |
发明人 |
MORI YUZO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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