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发明名称 METHOD FOR FORMING METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH04246163(A) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 JP19910008183 申请日期 1991.01.28
申请人 NEC CORP 发明人 UENO KAZUYOSHI
分类号 C23C14/06;C23C16/00;C23C26/00;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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