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发明名称 PROCESS FOR FABRICATING PZT CAPACITORS AS INTEGRATED CIRCUIT MEMORY ELEMENTS AND A CAPACITOR STORAGE ELEMENT
摘要
申请公布号 EP0490288(A3) 申请公布日期 1992.09.02
申请号 EP19910120962 申请日期 1991.12.06
申请人 RAMTRON CORPORATION 发明人 SCHUELE, PAUL J.;KAMMERDINER, LEE;LARSON, WILLIAM;TRAYNOR, STEVEN D.
分类号 H01L27/04;H01G4/224;H01G7/06;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/92;H01G7/02 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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