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发明名称 Micropattern aligning device
摘要
申请公布号 US3280715(A) 申请公布日期 1966.10.25
申请号 US19640374386 申请日期 1964.06.11
申请人 UNITED AIRCRAFT CORPORATION 发明人 CORL EDWIN A.;KOEHM ANDREW P.
分类号 G03F9/00;H01L21/68 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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