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发明名称
Method of manufacturing sputtering target assembly
摘要
申请公布号
US5143590(A)
申请公布日期
1992.09.01
申请号
US19910728249
申请日期
1991.07.10
申请人
JOHNSON MATTHEY INC.
发明人
STROTHERS, SUSAN D.;DELANO, ROBERT G.;STEED, GAROLD L.
分类号
B23K15/00;B23K15/04;C23C14/34;H01J37/34
主分类号
B23K15/00
代理机构
代理人
主权项
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