| 发明名称 |
DISPOSITIVO DE DEPOSICION DE VAPOR QUIMICA ACENTUADA CON PLASMA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
MX9201026(A) |
申请公布日期 |
1992.09.01 |
| 申请号 |
MX19920001026 |
申请日期 |
1992.03.09 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP INC. |
发明人 |
MILAM PENDER;JOSEPH COUNTRYWOOD |
| 分类号 |
C23C16/50;C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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