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发明名称
INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04244975(A)
申请公布日期
1992.09.01
申请号
JP19910010535
申请日期
1991.01.31
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YONESHIMA MUNEYA
分类号
G01R19/00;G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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