发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04243166(A) 申请公布日期 1992.08.31
申请号 JP19910004078 申请日期 1991.01.18
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJISAWA HIROYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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