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发明名称 OPEN TUBE TYPE PREDEPOSITION DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04243127(A) 申请公布日期 1992.08.31
申请号 JP19910004217 申请日期 1991.01.18
申请人 MEIDENSHA CORP 发明人 AKIYAMA KOICHI
分类号 H01L21/223;H01L21/22 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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