发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH04243137(A) |
申请公布日期 |
1992.08.31 |
申请号 |
JP19910003611 |
申请日期 |
1991.01.17 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
IIZUKA JUNICHI;YOSHIDA MASAMICHI;SASAKI TAKAE |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|