| 发明名称 |
BONDING HEAD-HOLDING MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04243144(A) |
申请公布日期 |
1992.08.31 |
| 申请号 |
JP19910004109 |
申请日期 |
1991.01.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KITAZAWA YASUTOSHI;IMAI SATORU;HIRANO SHIGEKAZU |
| 分类号 |
H01L21/58;H01L21/60;H05K3/32;H05K3/34 |
主分类号 |
H01L21/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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