INSPECTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19910003017-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	INSPECTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04241438(A)	申请公布日期	1992.08.28
申请号	JP19910003017	申请日期	1991.01.16
申请人	NEC KYUSHU LTD	发明人	HIRAKAWA KOJI
分类号	G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66	主分类号	G01B11/24
代理机构		代理人
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