发明名称 REMOVING METHOD FOR RESIN BURR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04240755(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910007368 申请日期 1991.01.25
申请人 NEC CORP 发明人 KONO TAKASHI
分类号 H01L21/56;H01L23/29;H01L23/40 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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