发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04241417(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910014793 申请日期 1991.01.15
申请人 SOGO SEIICHIRO 发明人 SOGO SEIICHIRO
分类号 B08B3/08;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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