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发明名称
PATTERN GENERATOR FOR LSI TESTER
摘要
申请公布号
JPH04242181(A)
申请公布日期
1992.08.28
申请号
JP19910003026
申请日期
1991.01.16
申请人
NEC CORP
发明人
SAKAINO HIROBUMI
分类号
G01R31/28;G01R31/3183;G11C29/10;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
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