发明名称 PATTERN GENERATOR FOR LSI TESTER
摘要
申请公布号 JPH04242181(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910003026 申请日期 1991.01.16
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAINO HIROBUMI
分类号 G01R31/28;G01R31/3183;G11C29/10;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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