发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04240713(A) 申请公布日期 1992.08.28
申请号 JP19910007275 申请日期 1991.01.24
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 FUJIMURA TAKASHI
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址